MEMS與感測器
以三選一題型學習MEMS的特徵、電容式加速度感測器、犧牲層蝕刻、壓阻效應、霍爾元件等。
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MEMS與感測器的重點
MEMS（微機電系統）是運用半導體的微細加工技術，將微小的機械結構與電子電路製作在一起的元件。廣泛用於智慧型手機的加速度感測器、陀螺儀、麥克風、壓力感測器等。
請掌握讓可動結構懸空的犧牲層蝕刻，以及將位移、應力、磁場等轉換為電訊號的原理（電容、壓阻效應、霍爾效應）。
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MEMS（微機電系統）是運用半導體的微細加工技術，將微小的機械結構與電子電路製作在一起的元件。廣泛用於智慧型手機的加速度感測器、陀螺儀、麥克風、壓力感測器等。
請掌握讓可動結構懸空的犧牲層蝕刻，以及將位移、應力、磁場等轉換為電訊號的原理（電容、壓阻效應、霍爾效應）。