什麼是壓阻效應

施加機械應力時,材料的電阻率發生變化的效應。在矽中特別大,用於半導體壓力感測器等。

日文名稱: ピエゾ抵抗効果

這個名詞所屬的領域: MEMS與感測器

相關名詞

加速度感測器 陀螺儀 科氏力 博世製程(Deep RIE) 陽極接合 電容式感測 霍爾元件 黏附(Stiction) 犧牲層蝕刻 MEMS(微機電系統)

前往名詞解釋列表