施加機械應力時,材料的電阻率發生變化的效應。在矽中特別大,用於半導體壓力感測器等。
日文名稱: ピエゾ抵抗効果
這個名詞所屬的領域: MEMS與感測器
加速度感測器 陀螺儀 科氏力 博世製程(Deep RIE) 陽極接合 電容式感測 霍爾元件 黏附(Stiction) 犧牲層蝕刻 MEMS(微機電系統)
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