MEMS와 센서
MEMS의 특징, 정전용량형 가속도 센서, 희생층 식각, 압저항 효과, 홀 센서를 객관식 문제로 학습합니다.
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MEMS와 센서: 핵심 정리
MEMS(미세전자기계시스템)는 반도체 미세가공 기술로 아주 작은 기계 구조물을 전자 회로와 함께 만든 소자입니다. 스마트폰의 가속도 센서, 자이로스코프, 마이크, 압력 센서 등으로 널리 쓰입니다.
움직이는 구조물을 분리해 내는 희생층 식각과, 변위·응력·자기장을 전기 신호로 바꾸는 원리(정전용량, 압저항 효과, 홀 효과)를 이해해 두세요.