電容式MEMS加速度感測器偵測加速度的原理，下列何者正確？

正確答案：B. 可動部（質量塊）位移造成的電極間電容變化

施加加速度時，由彈簧支撐的質量塊會因慣性而移動，與梳齒狀固定電極之間的距離隨之改變。電路偵測其電容變化，即可求得加速度。位移在數nm以下，電容變化在fF（10⁻¹⁵ F）以下，非常微小，但可藉由差動電極結構與高靈敏度電路讀取。由於結構簡單、耗電低且不易受溫度影響，因此廣泛用於智慧型手機等裝置。