什麼是陀螺儀
偵測旋轉速度(角速度)的感測器。MEMS陀螺儀利用作用於振動結構的科氏力。
日文名稱: ジャイロスコープ
這個名詞所屬的領域: MEMS與感測器
相關名詞
加速度感測器 科氏力 博世製程(Deep RIE) 陽極接合 電容式感測 霍爾元件 壓阻效應 黏附(Stiction) 犧牲層蝕刻 MEMS(微機電系統)
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