電容式與壓阻式 MEMS 感測器的差異：原理、功耗、溫度特性、用途比較
MEMS 的加速度感測器與壓力感測器，是將質量塊或膜片受力而移動或彎曲的量轉換為電訊號。電容式由可動電極與固定電極之間電容的變化測量位移。功耗小，也不易受溫度影響，但變化極為微小，因此需要高感度的專用電路。壓阻式利用矽受到應力時電阻率改變的效應，以電橋電路讀取。電路簡單，輸出也容易處理，但由於持續流過電流，功耗較大，溫度造成的變化也必須補償。
| 項目 | 電容式 | 壓阻式 |
|---|---|---|
| 偵測原理 | 可動電極與固定電極之間電容的變化 | 應力造成的電阻率變化（壓阻效應） |
| 加速度感測器的結構 | 在以彈簧支撐的質量塊上裝設梳狀的可動電極，測量其與兩側固定電極之間的電容差（差動） | 在支撐質量塊的樑上製作電阻，測量樑彎曲時的應力 |
| 壓力感測器的結構 | 測量受壓彎曲的膜片與對向電極之間的電容 | 在薄膜片的邊緣製作 4 個電阻，組成惠斯登電橋 |
| 讀取的訊號 | 非常小的電容變化（加速度感測器有時在 fF 以下）。需要將電容轉換為電壓的專用 ASIC | 將電阻的變化以電橋電壓的形式取出。電路簡單 |
| 功耗 | 小。沒有直流電流流過 | 偏大。電橋持續流過直流電流 |
| 溫度的影響 | 不易受影響 | 電阻值與感度隨溫度大幅變化，溫度補償不可或缺 |
| 感度與解析度 | 藉由差動電極與高感度電路，容易以高解析度測量小的加速度與微小壓力 | 輸出的線性度佳。感度相對較低，但也適合測量大的壓力或衝擊 |
| 靜止狀態（固定力）的測量 | 可以（也能測量重力） | 可以（也能測量重力） |
| 抗干擾能力 | 容易受導線的寄生電容與電氣雜訊影響，電路需放在感測器附近 | 阻抗低，不易受寄生電容影響 |
| 製造 | 以表面微加工等方式製作，容易與電路晶片一起放進小型封裝 | 主要以體型微加工製作膜片或樑，再以離子佈植或擴散形成電阻 |
| 主要用途 | 智慧型手機等的加速度感測器與陀螺儀、MEMS 麥克風、低功耗的氣壓感測器 | 汽車引擎或輪胎的壓力、血壓計、工業用壓力計、衝擊用加速度感測器 |
數值為具代表性的大致參考值，會因世代或產品而異。