在非常小的MEMS加速度感測器或陀螺儀中，成為解析度極限之一、由質量塊與周圍氣體分子等的熱交互作用而隨機晃動所造成的雜訊為下列何者？

正確答案：A. 熱機械雜訊（布朗雜訊）

在有限的溫度下，質量塊會因周圍氣體分子的碰撞等而持續隨機晃動。此熱機械雜訊（布朗雜訊）換算成加速度後可表示為 √(4kTω₀/(mQ))，質量塊越輕、阻尼越大（Q越低），雜訊就越大。因此越縮小越不利，高精度的感測器會把質量塊做得更重（更大），並以真空封裝提高Q值來降低雜訊。

• A. 正確。這是熱造成的機械性晃動所產生的雜訊。
• B. 時脈雜訊並非感測器機械部分的基本極限。
• C. 量化雜訊是AD轉換所產生的雜訊。