將MEMS陀螺儀等的可動部封裝在真空中，其主要理由下列何者正確？

正確答案：A. 減少空氣的阻力（阻尼），讓振動維持較大以提高靈敏度

在振動型MEMS陀螺儀中，可動部振動得越大越穩定，科氏力造成的訊號就越大，靈敏度也越高。有空氣時，阻力（阻尼）會使振動減弱，因此將晶圓彼此接合，把MEMS部分密封在真空中，使共振的Q值提高到數千至數萬。另一方面，加速度感測器需要適度的阻尼，因此會封入氣體。依用途區分封裝的壓力。