作為MEMS致動器使用的「梳齒型（梳狀驅動）」，其驅動原理下列何者正確？

正確答案：A. 對相互咬合的梳齒狀電極之間施加電壓時的靜電引力

梳齒型致動器是對相互咬合的梳齒狀固定電極與可動電極之間施加電壓，以靜電引力使可動部橫向移動。由於是朝重疊長度改變的方向移動，相對於移動量，力幾乎固定，不像平行平板那樣容易發生吸附（pull-in）。增加梳齒數就能加大力，用於陀螺儀的驅動、光開關、MEMS反射鏡等。也可作為偵測用的電極。

• A. 正確。以梳齒狀電極之間的靜電引力驅動。
• B. 這與使用電磁力的電磁驅動是不同的方式。
• C. 這與使用熱膨脹的熱驅動是不同的方式。