關於結合MEMS感測器與其訊號處理電路的方法，下列何者正確？

正確答案：C. 有整合在同一個晶片上的方法，以及將不同晶片收納在同一個封裝內的方法

將MEMS與訊號處理電路製作在同一個晶片上，寄生電容小且可縮小體積，但必須讓兩者的製程相容，較為複雜。分別以最佳製程製作晶片，再並排或堆疊在同一個封裝內的方法也被廣泛使用，許多智慧型手機用的感測器採用此方式。近年也有將MEMS晶圓與CMOS晶圓貼合而一體化的方法。