MEMS所製作的可動結構，其大小的參考範圍何者最為適當？

正確答案：B. 數微米～數公釐

MEMS是與電子電路一同製作微米至公釐等級的機械結構（彈簧、質量塊、薄膜、反射鏡等）的技術，例如加速度感測器的晶片為1～2 mm見方，可動部的間隙為數µm。在這樣的尺寸下，相對於重量，表面的力（靜電力、表面張力）相對變強，因此需要與一般機械不同的設計。更小的奈米等級機械結構則稱為NEMS。

• A. 數公尺是一般機械的大小。
• B. 正確。這是微米～公釐的大小。
• C. 數皮米比原子的大小還小，無法製作出結構。