MEMS與感測器

廣泛用於評估MEMS陀螺儀偏置穩定度(輸出的緩慢變動)的方法為下列何者?

  1. A艾倫變異數(艾倫偏差)分析
  2. BC-V測量
  3. C四探針法
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正確答案:A. 艾倫變異數(艾倫偏差)分析

艾倫變異數是將靜止狀態下記錄數小時的輸出,以各種平均時間τ分段,檢視相鄰區段平均值之差的變異程度的方法。從雙對數圖的斜率,可分別評估在短時間內佔主導的隨機雜訊(角度隨機漫步,斜率−1/2),以及出現在底部的偏置不穩定度(°/h)等成分。是比較陀螺儀、加速度感測器、振盪器性能的標準方法。

  • A. 正確。以艾倫變異數評估雜訊與偏置變動。
  • B. C-V測量是評估MOS結構等的電容的方法。
  • C. 四探針法是測量薄膜或晶圓電阻率的方法。
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