MEMS與感測器

MEMS麥克風將聲音轉換為電訊號的代表性方式,下列何者正確?

  1. A偵測因聲音而發熱的電阻的溫度變化
  2. B偵測因聲音而發光的元件的光量
  3. C偵測因聲壓而振動的薄膜與固定電極之間的電容變化
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正確答案:C. 偵測因聲壓而振動的薄膜與固定電極之間的電容變化

一般的MEMS麥克風以因聲壓而振動、厚度約1 µm的薄膜(膜片)與有孔的固定電極(背板)構成電容器,並由同一封裝內的ASIC將薄膜振動造成的電容變化轉換為電訊號。比起傳統的駐極體電容式麥克風,體積更小,耐焊接熱,特性也容易一致,因此智慧型手機會使用多顆麥克風來進行降噪等處理。

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