MEMS與感測器

振動型MEMS陀螺儀為了偵測角速度所利用的力,下列何者正確?

  1. A科氏力
  2. B僅有庫侖力
  3. C浮力
查看答案與解析

正確答案:A. 科氏力

當振動的物體旋轉時,在與振動方向及旋轉軸皆垂直的方向上,會產生與速度和角速度成正比的科氏力。MEMS陀螺儀先使質量塊以數kHz至數十kHz共振,再以電容等方式偵測旋轉時在正交方向產生的微小位移,進而求得角速度。用於相機的防手震、智慧型手機的姿態偵測、汽車的防側滑、無人機的控制等。

練習這個領域 前往領域頁面

MEMS與感測器的其他題目

  1. 下列關於MEMS製造所用的Deep RIE(Bosch製程)的敘述,何者正確?
  2. MEMS麥克風將聲音轉換為電訊號的代表性方式,下列何者正確?
  3. 通以定電流的矽PN接面,其順向電壓的溫度依存性,下列何者正確?
  4. 下列關於投影機所用的DMD(數位微鏡元件)的動作原理,何者正確?
  5. 以MEMS技術製成的噴墨印表機列印頭,其一般的墨水噴出方式為下列何者?