MEMS與感測器

智慧型手機等的高頻濾波器所用的BAW濾波器,利用的是下列何種現象?

  1. A霍爾效應
  2. B壓電薄膜的機械共振
  3. C席貝克效應
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正確答案:B. 壓電薄膜的機械共振

BAW(體聲波)濾波器使用以電極夾住氮化鋁(也有ScAlN)等厚度約1 µm的壓電薄膜所構成的共振器。利用薄膜沿厚度方向振動、並在由膜厚決定的特定頻率共振的性質,只讓所需頻段的訊號通過。由於在1.5~6 GHz左右的高頻損耗小,在使用許多頻段的5G智慧型手機中會用到數十個。

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