MEMS與感測器

在MEMS的封裝等情況中,將矽與玻璃一邊加熱一邊施加電壓來接合的方法稱為什麼?

  1. A陽極接合
  2. B打線接合
  3. C濺鍍
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正確答案:A. 陽極接合

陽極接合是將含鈉的硼矽酸鹽玻璃(Pyrex等)與矽疊合後加熱至300~450 ℃,並使玻璃側為負極,施加數百至1000 V左右的電壓。玻璃中的鈉離子移動,在界面產生強大的靜電引力,並藉由與氧的化學鍵結形成牢固的氣密接合。使用熱膨脹係數與矽相近的玻璃可抑制翹曲,用於壓力感測器與封裝。

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