什麼是電容式感測
由可動電極與固定電極之間靜電電容的變化，來偵測位移或壓力等的方式。廣泛用於MEMS感測器。
日文名稱: 静電容量検出
這個名詞所屬的領域: MEMS與感測器
相關名詞
加速度感測器 陀螺儀 科氏力 博世製程(Deep RIE) 陽極接合 霍爾元件 壓阻效應 黏附(Stiction) 犧牲層蝕刻 MEMS(微機電系統)
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