MEMS與感測器

使用氧化錫等的半導體式氣體感測器,其偵測原理下列何者正確?

  1. A因氣體的溫度而發光
  2. B因氣體而使聲音改變
  3. C作為偵測對象的氣體吸附、反應於表面,使感測器材料的電阻改變
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正確答案:C. 作為偵測對象的氣體吸附、反應於表面,使感測器材料的電阻改變

在半導體式氣體感測器中,加熱至300~400 ℃左右的氧化錫(n型半導體)表面會吸附氧而捕獲電子,在粒子邊界形成能障,使電阻變高。若存在可燃性氣體或還原性氣體,會與吸附的氧反應而使電子回到材料中,電阻因此下降。1960年代在日本實用化,廣泛用於漏氣警報器。雖然價格便宜且靈敏度高,但不擅長區分氣體的種類。

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