MEMS與感測器
在晶片上製作微小流道,以少量液體進行化學分析或檢驗的技術為下列何者?
- A微流體元件(晶片實驗室)
- B光罩
- C接合線
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正確答案:A. 微流體元件(晶片實驗室)
微流體元件是以MEMS的加工技術在晶片上製作寬度數十~數百µm的流道、混合部與反應部,以µL以下的極少量樣本進行分析或檢驗的元件。也稱為晶片實驗室(Lab-on-a-chip),由於樣本與試劑用量少、反應快速,並可做成便於攜帶的裝置,因此用於新冠病毒的快速檢驗、血液檢驗、基因分析、細胞篩選等。材料除了玻璃與矽之外,也使用便宜的樹脂(PDMS)。
- A. 正確。在晶片上的微小流道中進行分析。
- B. 光罩是以曝光轉印電路圖案的原版。
- C. 接合線是連接晶片與端子的細金屬線。