MEMS與感測器
在汽車的LiDAR等裝置中,用來掃描雷射光的MEMS元件為下列何者?
- AMEMS麥克風
- B加速度感測器
- CMEMS反射鏡(掃描光的微小可動反射鏡)
查看答案與解析
正確答案:C. MEMS反射鏡(掃描光的微小可動反射鏡)
MEMS反射鏡是以靜電力或電磁力使直徑約1 mm的微小鏡面以數kHz至數十kHz共振或傾斜,藉此改變反射雷射光方向的元件。與以馬達旋轉的多面鏡相比,體積小、重量輕,且不需要機械旋轉零件而耐振動,用於LiDAR的掃描、抬頭顯示器或AR眼鏡的雷射投影、光開關等。
MEMS與感測器
正確答案:C. MEMS反射鏡(掃描光的微小可動反射鏡)
MEMS反射鏡是以靜電力或電磁力使直徑約1 mm的微小鏡面以數kHz至數十kHz共振或傾斜,藉此改變反射雷射光方向的元件。與以馬達旋轉的多面鏡相比,體積小、重量輕,且不需要機械旋轉零件而耐振動,用於LiDAR的掃描、抬頭顯示器或AR眼鏡的雷射投影、光開關等。