MEMS與感測器

在汽車的LiDAR等裝置中,用來掃描雷射光的MEMS元件為下列何者?

  1. AMEMS麥克風
  2. B加速度感測器
  3. CMEMS反射鏡(掃描光的微小可動反射鏡)
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正確答案:C. MEMS反射鏡(掃描光的微小可動反射鏡)

MEMS反射鏡是以靜電力或電磁力使直徑約1 mm的微小鏡面以數kHz至數十kHz共振或傾斜,藉此改變反射雷射光方向的元件。與以馬達旋轉的多面鏡相比,體積小、重量輕,且不需要機械旋轉零件而耐振動,用於LiDAR的掃描、抬頭顯示器或AR眼鏡的雷射投影、光開關等。

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