由彈簧支撐的微小質量塊的運動來偵測加速度的感測器。用於智慧型手機的方向偵測與安全氣囊等。
日文名稱: 加速度センサー
這個名詞所屬的領域: MEMS與感測器
陀螺儀 科氏力 博世製程(Deep RIE) 陽極接合 電容式感測 霍爾元件 壓阻效應 黏附(Stiction) 犧牲層蝕刻 MEMS(微機電系統)
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