在MEMS的製造或使用過程中，微小的可動部因表面張力等而黏附在基板上、無法動作的現象稱為什麼？

正確答案：B. 黏附（stiction）

MEMS的可動部非常小，相對於重量而言表面積大，因此可能因清洗液乾燥時的表面張力、靜電力、分子間作用力、濕氣的附著等而黏附在基板上。這就是黏附（stiction），有製造時乾燥所造成的，也有使用中接觸所造成的。可藉由超臨界乾燥、氣相蝕刻、塗佈疏水性單分子膜、在接觸面設置小突起等方法來防止。