MEMS與感測器
在MEMS的靜電致動器中，若將施加於兩片平行電極之間的電壓加倍，電極間作用的靜電引力約為幾倍？（假設電極的間距不變）
- A1/2倍
- B2倍
- C4倍
查看答案與解析
正確答案：C. 4倍
平行平板電極間作用的靜電引力為 F = εAV²/(2d²)，與電壓V的平方成正比，因此電壓加倍時力為4倍。又因與間距d的平方成反比，所以將間隙縮為一半時也會變為4倍。MEMS的力很小，要得到數十µN左右有時也需要數十V，因此會以電荷泵等提高電壓來驅動。也要注意不論正負號，只會產生引力。
- A. 提高電壓，力會變大。
- B. 力並非與電壓成正比，而是與電壓的平方成正比。
- C. 正確。2² = 4倍。