MEMS與感測器
有時用於智慧型手機的螢幕下指紋感測器或醫療用超音波診斷、以MEMS製成的超音波元件為下列何者？
- AVCSEL
- BCCD
- CPMUT・CMUT（微加工超音波換能器）
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正確答案：C. PMUT・CMUT（微加工超音波換能器）
PMUT（壓電式）與CMUT（電容式）是以MEMS技術製成的超音波收發元件，使薄膜振動以發出超音波，並偵測反射回來的超音波。與傳統較厚的壓電陶瓷元件相比，可用半導體製程將多個元件以細間距排成陣列，並與電路整合。用於智慧型手機的螢幕下超音波指紋感測器、掌上型超音波診斷裝置、距離感測器等。
- A. VCSEL是面射型半導體雷射。
- B. CCD是偵測光的影像感測器。
- C. 正確。這是以MEMS製成的超音波換能器。