MEMS與感測器

利用霍爾效應的感測器(霍爾元件)主要用來偵測下列何者?

  1. A溫度
  2. B磁場
  3. C濕度
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正確答案:B. 磁場

當對有電流流過的半導體垂直施加磁場時,載子會受勞侖茲力而偏轉,在與電流及磁場兩者皆垂直的方向上產生電壓(霍爾電壓)。霍爾元件由此電壓偵測磁場,用於無刷馬達的旋轉位置偵測、非接觸式電流感測器、智慧型手機保護套的開闔偵測等。載子遷移率大的InSb與GaAs靈敏度高,也有整合在CMOS中的矽製元件。

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