利用氣體流動會帶走加熱器熱量的現象來測量流量的MEMS感測器為下列何者？

正確答案：A. 熱式流量感測器

熱式流量感測器在厚度約1 µm、經隔熱的薄膜上配置加熱器，以及其上游與下游的溫度感測器。氣體流動時，上游側會被冷卻，下游側則被加熱，由其溫差求得流量與流動方向。薄膜薄、熱容量小，因此回應快速且耗電低。用於引擎的進氣量（空氣流量計）、瓦斯表、呼吸器等醫療設備。