MEMS的可動板朝著極為靠近的固定面移動時，因其間的氣體被擠出而產生的阻尼稱為什麼？

正確答案：B. 擠壓膜阻尼

當可動板與固定面的間隙窄至數µm時，每當板移動，間隙中的氣體就會被擠出或吸入，產生很大的黏性阻力。這就是擠壓膜阻尼，其強度與間隙的3次方成反比而增強。在加速度感測器中用來抑制振動並整理回應；在陀螺儀或共振器中則是降低Q值的原因，因此會在板上開許多孔或密封在真空中來調整。

• A. 介電弛豫是介電體極化回應的延遲。
• B. 正確。這是間隙中氣體進出所造成的阻尼。
• C. 庫侖摩擦是接觸面的固體摩擦。