MEMS與感測器

在平行平板型靜電致動器中,提高電壓時,可動電極一超過某個位置就會突然被吸向固定電極而黏住的現象稱為什麼?

  1. A壓電效應
  2. B共振
  3. C吸附(pull-in)
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正確答案:C. 吸附(pull-in)

電極間的靜電引力會隨間距變窄而急遽增強,而彈簧的恢復力只與位移成正比,因此到了某一點就無法維持平衡。在平行平板中,這一點是移動了初始間距約1/3之處,超過後可動電極會一口氣被吸過去(吸附,pull-in)。因此可連續移動的範圍被限制在間距的1/3以內。反過來,在RF MEMS開關中則利用這個現象來確實閉合接點。

  • A. 壓電效應是對壓電體施力時產生電荷(或其相反)的現象。
  • B. 共振是在特定頻率下振動變大的現象。
  • C. 正確。這是平衡被破壞而突然被吸過去的現象。
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