在表面微加工中用作結構層的多晶矽等薄膜，若內部有很大的殘留應力，會產生什麼問題？

正確答案：B. 移除犧牲層使其懸浮時，結構會翹曲或挫曲

若成膜時產生的殘留應力很大，在移除犧牲層使結構懸浮時，受壓縮應力的雙端固定樑會挫曲而呈波浪狀，而厚度方向有應力分布時，懸臂樑則會翹曲。無法達到設計的形狀或共振頻率，有時還會碰到電極而無法動作。多晶矽可藉由成膜溫度或退火將應力控制在數十MPa以下，氮化膜則以組成調整為拉伸應力。

• A. 電阻並不會變為零。
• B. 正確。會發生翹曲與挫曲。
• C. 薄膜不會因應力而變得透明。