無塵室與製造設備
以三選一題型學習無塵室的潔淨度、黃光室、FOUP等半導體工廠環境與製造設備的基本觀念。
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無塵室與製造設備的重點
半導體製造中，即使是微小的微粒也會造成不良，因此要在將空氣中粒子保持得極少的無塵室內作業。潔淨度以一定體積空氣中所含的粒子數來表示。
在300 mm晶圓的工廠中，一般的做法是將晶圓放入稱為FOUP的密閉容器中自動搬運，只在設備內部維持高潔淨度。
以三選一題型學習無塵室的潔淨度、黃光室、FOUP等半導體工廠環境與製造設備的基本觀念。
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半導體製造中，即使是微小的微粒也會造成不良，因此要在將空氣中粒子保持得極少的無塵室內作業。潔淨度以一定體積空氣中所含的粒子數來表示。
在300 mm晶圓的工廠中，一般的做法是將晶圓放入稱為FOUP的密閉容器中自動搬運，只在設備內部維持高潔淨度。