無塵室與製造設備
半導體工廠的潔淨室地板所使用的、呈格子狀開孔的厚混凝土地板(華夫板,waffle slab)的作用,下列何者正確?
- A以高剛性抑制振動,同時讓空氣經由孔洞流向地板下
- B蓄積雨水
- C讓地板變輕以降低建造成本
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正確答案:A. 以高剛性抑制振動,同時讓空氣經由孔洞流向地板下
華夫板是在以格子狀樑補強的厚混凝土地板上開出大量孔洞,成為下吹流空氣通往地板下的通道。同時以高剛性抑制對曝光機等精密設備有害的振動。其名稱來自孔洞排列的形狀類似鬆餅(waffle)。孔洞上方會放置格柵板的面板,使人可以行走。它是與輕量化相反的、厚重且高剛性的結構。
- A. 正確。兼顧剛性與空氣的通道。
- B. 不是蓄積雨水的設施。
- C. 為了抑制振動,是厚重且高剛性的結構。