在200 mm晶圓時代普及的、將晶圓匣放入密閉傳送盒再傳遞到設備的微環境方式是下列何者？

正確答案：B. SMIF

SMIF（Standard Mechanical Interface，標準機械介面）是將晶圓匣放入密閉的傳送盒搬運，並在設備上將傳送盒的底部向下打開，把晶圓匣送入設備內的方式。它在1980年代被提出，推廣了微環境的概念。到了300 mm，則發展為將晶圓匣與傳送盒合為一體、從前面開啟的FOUP。EFEM是傳遞FOUP的設備前端模組。