什麼是無塵室
把空氣中的微粒（粒子）數量維持在規定水準以下，並控制溫度、濕度與氣壓的房間。半導體製造在無塵室中進行，以免汙染晶圓。
閱讀入門解說: 無塵室是什麼？半導體工廠為什麼這麼怕灰塵
日文名稱: クリーンルーム
「無塵室」出現在4領域的35道練習題中（無塵室與製造設備, 環境安全, 氧化與擴散等）。
這個名詞所屬的領域: 無塵室與製造設備
什麼是無塵室
無塵室持續送入過濾後的空氣並把室內的汙染排出，使空氣中浮游微粒的數量維持在規定水準以下。在半導體製造中，晶圓上只要附著一顆與電路尺寸相當的粒子，就可能使該晶片不良。因此會讓經天花板 HEPA 或 ULPA 濾網過濾的空氣流入，並把溫度、濕度與室內氣壓保持一定。室內氣壓會略高於周圍，以免髒空氣流入。
潔淨度等級
潔淨程度以一定體積空氣中的粒子數表示，國際標準 ISO 14644-1 分為 1～9 級。數字越小越潔淨，ISO 5 級允許每立方公尺有 100,000 顆 0.1 µm 以上的粒子。這大致相當於已廢止的美國聯邦標準 209E 的 Class 100（每立方英尺 100 顆 0.5 µm 以上的粒子）。人是很大的發塵源，因此作業人員要穿著專用的衣服、口罩與手套，並通過空氣浴塵室後才能進入。
半導體廠無塵室的構造
一般的工廠讓經過濾的空氣從整面天花板往下流（下降氣流），經由有孔的地板吸到地板下，再過濾後循環使用。最先進的工廠並不把整棟建築都維持在最高潔淨度，而是把晶圓放在稱為 FOUP 的密閉容器中，以自動搬運系統（AMHS）運送，只讓設備的微環境內部特別潔淨。如此一來，人員工作的區域可稍微放寬潔淨度，減少推動大量空氣所需的電力。
練習無塵室的題目
潔淨室的潔淨度，一般是以什麼來表示？
- A空氣中單位體積內所含、一定大小以上的粒子數量
- B室內的溫度與濕度
- C照明的亮度
查看答案與解析
正確答案：A. 空氣中單位體積內所含、一定大小以上的粒子數量
潔淨室的潔淨度，是以一定體積空氣中所含、某個大小以上的粒子數量來表示。在國際規格ISO 14644-1中，依每1 m³的粒子數分為等級1～9，數字越小越潔淨。例如等級5是每1 m³中0.1 µm以上的粒子在10萬個以下。一般房間的空氣約相當於等級9。溫度、濕度與照明雖然也要管理，但並不是潔淨度的指標。
潔淨室中讓空氣由天花板單向流向地板（下吹流，downflow）的方式，其主要目的為何？
- A將產生的粒子迅速排到地板下，不讓粒子滯留在晶圓周圍
- B提高室溫
- C降低室內噪音
查看答案與解析
正確答案：A. 將產生的粒子迅速排到地板下，不讓粒子滯留在晶圓周圍
讓通過天花板高效率濾網的潔淨空氣單向吹向地板，人員與設備產生的粒子就不會揚起，而是被帶往地板下方，這樣粒子便不會滯留在晶圓周圍。相較於攪拌室內空氣來稀釋的方式，可得到更高的潔淨度，但因為要推動大量空氣，空調的能耗也會變大。其目的並不是調節室溫或噪音。
常見問題
半導體廠為什麼需要無塵室？
當線寬在數十 nm 以下時，只要附著一顆大小相近的粒子，就可能讓導線斷開或短路，使晶片不良。除了粒子之外，鈉等金屬以及空氣中的氨、有機物等分子汙染（AMC）也會降低良率，因此也一併管理。
無塵室的等級怎麼決定？
ISO 14644-1 以每立方公尺空氣所含粒子數的上限決定 1～9 級。0.1 µm 以上粒子的上限，在 N 級為 10 的 N 次方顆，等級每小 1 級就變為 10 分之 1。等級會同時標示是在完工時、靜態或動態哪一種狀態下量測。
解析中的「無塵室」
潔淨室的潔淨度，是以一定體積空氣中所含、某個大小以上的粒子數量來表示。
潔淨室的潔淨度，一般是以什麼來表示？HEPA濾網以及性能更高的ULPA濾網，是以折疊的細玻璃纖維等濾材捕捉空氣中微粒的空氣濾網，安裝在潔淨室的天花板等處。
用來去除潔淨室空氣中微粒的高效率濾網是下列何者？讓潔淨室維持正壓，開關門或經由縫隙時，空氣會從內往外流，外面髒污的空氣就不易進入。
讓潔淨室內的氣壓維持高於周圍（正壓）的主要理由為何？風淋室是作業人員進入潔淨室時要經過的小房間，從四面的噴嘴以每秒20 m以上的高速吹出潔淨空氣，吹落無塵衣表面沾附的灰塵。
在潔淨室入口，對作業人員吹送強力潔淨空氣，以吹落衣服表面灰塵的設備是下列何者？在乾燥的潔淨室中容易產生靜電，帶電的晶圓與光罩會吸引微粒，也可能因靜電放電而損傷元件或光罩的圖案。
在潔淨室中，向空氣供應離子以中和晶圓與設備帶電的裝置是下列何者？
出現「無塵室」的題目（35題）
- 潔淨室的潔淨度，一般是以什麼來表示？
- 潔淨室中讓空氣由天花板單向流向地板（下吹流，downflow）的方式，其主要目的為何？
- 用來去除潔淨室空氣中微粒的高效率濾網是下列何者？
- 讓潔淨室內的氣壓維持高於周圍（正壓）的主要理由為何？
- 潔淨室中主要的發塵源之一，需靠穿著無塵衣來因應的是下列何者？
- 在潔淨室中，用來指稱氣態污染物（酸、鹼、有機物等）而非粒子的用語是下列何者？
- 在潔淨室入口，對作業人員吹送強力潔淨空氣，以吹落衣服表面灰塵的設備是下列何者？
- 在潔淨室中，尤其是曝光區域，將溫度控制得非常嚴格且恆定的主要理由為何？
- 在潔淨室中，向空氣供應離子以中和晶圓與設備帶電的裝置是下列何者？
- 下列何者是不讓潔淨室的濕度過度偏低而加以管理的理由之一？
- 下列何者被嚴格限制帶入潔淨室？
- 在下吹流方式的潔淨室中，地板使用有孔面板（格柵板）的理由，下列何者正確？
- 下吹流方式的潔淨室中，一般從天花板吹出的風速大約是多少？
- 在廠區－維護區（bay-chase）方式的潔淨室中，設備背面的維護空間（chase）其潔淨度的一般處理方式為何？
- 下列何者最接近潔淨室一般的溫度設定值？
出現這個名詞的比較
相關名詞
下降氣流 ESD(靜電放電) ULPA濾網 HEPA濾網 氣態分子汙染(AMC) FOUP 超純水 微環境 FFU(風扇過濾機組) OHT(天車式無人搬運車)