無塵室與製造設備
在半導體工廠的自動搬運系統中，用來暫時存放等待進入下一製程的FOUP的自動倉庫是下列何者？
- A儲存器（stocker）
- BEFEM
- C風淋室
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正確答案：A. 儲存器（stocker）
儲存器是具備由機器人存取FOUP的貨架的自動倉庫，暫時存放等待設備空出來的FOUP等。內部充滿潔淨空氣或氮氣，與OHT等搬運系統相連，依生產管理系統的指示取出需要的FOUP。近年來，也會使用善用天花板空間、將FOUP放在軌道旁邊的小型存放架。
- A. 正確。是暫時存放FOUP的自動倉庫。
- B. EFEM是在設備前面傳遞晶圓的模組。
- C. 風淋室是進入時吹落衣服灰塵的設備。