什麼是氣態分子汙染(AMC)
空氣中的酸、鹼、有機物等氣態汙染物。微粒用濾網無法去除，須以化學濾網去除。
日文名稱: 分子状汚染(AMC)
這個名詞所屬的領域: 無塵室與製造設備
相關名詞
下降氣流 微環境 EFEM(設備前端模組) FFU(風扇過濾機組) FOUP HEPA濾網 ISO 14644-1 OHT(天車式無人搬運車) ULPA濾網
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