無塵室與製造設備

下列關於半導體工廠中一般設備佈局概念的敘述,何者正確?

  1. A只採用像汽車工廠那樣,依製程順序將設備排成一直線的方式
  2. B將同類型的設備集中配置在各個廠區(bay)中,再以搬運系統連接的作業車間(job shop)型方式
  3. C將所有設備各自放在不同的建築物中的方式
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正確答案:B. 將同類型的設備集中配置在各個廠區(bay)中,再以搬運系統連接的作業車間(job shop)型方式

半導體製造要重複進行數十次的成膜、微影、蝕刻等步驟,因此晶圓會多次造訪相同類型的設備。若依製程順序排成一直線,就必須準備數十台相同的設備,所以一般採用把同類型設備集中配置在廠區,再以自動搬運系統連接的作業車間型佈局。不會把設備一台一台放在不同的建築物中。

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