無塵室與製造設備

在設置電子束曝寫機或電子顯微鏡等設備時,除了振動之外,還需要特別留意的環境因素是下列何者?

  1. A外面的噪音
  2. B來自周圍電源線或電梯等的磁場變動
  3. C照明的顏色
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正確答案:B. 來自周圍電源線或電梯等的磁場變動

電子束帶有電荷,即使是些微的磁場變動,也會因勞倫茲力而彎曲,造成曝寫的位置偏移,以及影像模糊、晃動。即使只有地磁強度數千分之一左右的變動,也可能產生影響。因此會遠離大電流的電纜、變壓器、電梯等來設置,或使用磁屏蔽,以及能抵消磁場的主動式裝置。照明的顏色不會有影響。

  • A. 噪音也是振動的原因,但並不是電子束特有的因素。
  • B. 正確。磁場的變動會使電子束彎曲。
  • C. 照明的顏色不會影響電子束。
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