無塵室與製造設備
下列關於FOUP的說明，何者正確？
- A曝光機的光源
- B研磨晶圓的設備
- C以密閉狀態搬運、存放300 mm晶圓的容器
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正確答案：C. 以密閉狀態搬運、存放300 mm晶圓的容器
FOUP（Front Opening Unified Pod，前開式晶圓傳送盒）是可密閉裝入最多25片300 mm晶圓進行搬運與存放的前開式容器，裝入晶圓後約重8 kg。只要讓晶圓在FOUP內與設備內保持潔淨，就不必把整座工廠都做成超高潔淨度，也能防止污染。其尺寸與開啟方式由規格統一，因此可直接放到任何廠商的設備上，並由天車搬運等方式自動運送。