什麼是微環境
只將晶圓周圍的狹小空間維持在高潔淨度的想法。結合FOUP等密閉容器與設備前端的EFEM，降低對整個房間的潔淨度要求以節省成本。
日文名稱: ミニエンバイロメント
這個名詞所屬的領域: 無塵室與製造設備
相關名詞
下降氣流 氣態分子汙染(AMC) EFEM(設備前端模組) FFU(風扇過濾機組) FOUP HEPA濾網 ISO 14644-1 OHT(天車式無人搬運車) ULPA濾網
只將晶圓周圍的狹小空間維持在高潔淨度的想法。結合FOUP等密閉容器與設備前端的EFEM，降低對整個房間的潔淨度要求以節省成本。
日文名稱: ミニエンバイロメント
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下降氣流 氣態分子汙染(AMC) EFEM(設備前端模組) FFU(風扇過濾機組) FOUP HEPA濾網 ISO 14644-1 OHT(天車式無人搬運車) ULPA濾網