從整面天花板朝地板單向送出潔淨空氣的無塵室氣流方式,可將產生的微粒迅速排至地板下方。
日文名稱: ダウンフロー
這個名詞所屬的領域: 無塵室與製造設備
氣態分子汙染(AMC) 微環境 EFEM(設備前端模組) FFU(風扇過濾機組) FOUP HEPA濾網 ISO 14644-1 OHT(天車式無人搬運車) ULPA濾網
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