無塵室與製造設備
在潔淨室中，用來指稱氣態污染物（酸、鹼、有機物等）而非粒子的用語是下列何者？
- A微粒污染
- B分子態污染（AMC）
- C靜電放電（ESD）
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正確答案：B. 分子態污染（AMC）
AMC（Airborne Molecular Contamination，空氣分子污染）是指空氣中所含的酸性、鹼性氣體、有機物、摻雜物等分子態污染物。分子遠比粒子小，一般濾網無法去除，必須以化學濾網去除。氨會中和化學放大型光阻中的酸，有機物則會附著在晶圓表面，使薄膜的附著與接合變差。ESD則是指靜電放電。