在隔間很少的大房間中排列製造設備，並以FOUP等密閉容器與微環境來確保晶圓潔淨度的潔淨室方式是下列何者？

正確答案：C. 大廳（ballroom，大房間）方式

大廳方式是不以牆壁細分隔間，而在大空間中排列設備的方式。晶圓由密閉容器與設備的微環境保護，因此不必把整間房間的潔淨度提高到那麼高，設備的重新配置也比較容易。OHT的軌道也可自由鋪設，所以在300 mm的工廠中被廣泛採用。廠區－維護區方式則是以牆壁區分作業區與維護區。

• A. 廠區－維護區方式是以牆壁將作業區與維護區分開的方式。
• B. 隧道方式是將設備排列在潔淨的隧道狀區域中的舊式方式。
• C. 正確。是將設備排列在大空間中的方式。