只讓晶圓周圍的狹小空間保持高潔淨度的概念，稱為什麼？

正確答案：B. 微環境（mini-environment）方式

微環境方式只讓FOUP與設備內部等晶圓會接觸的空間保持極高的潔淨度，人員作業空間的潔淨度則稍微放寬。由於需要保持潔淨的空間體積大幅縮小，與把整間房間都做成超高潔淨度的大廳式方式相比，可降低建造成本與空調的運轉費用。同時也能把人與晶圓隔開，減少來自人員的污染。