什麼是AMHS(自動化物料搬運系統)

在半導體工廠中，於製造設備與保管架之間自動搬運 FOUP 等搬運容器的設備，以及驅動這些設備之控制系統的總稱。由 OHT 與倉儲等構成。

日文名稱: AMHS(自動搬送システム)

「AMHS(自動化物料搬運系統)」出現在1領域的1道練習題中（無塵室與製造設備等）。

AMHS 的構成

AMHS 是 Automated Material Handling System 的縮寫，指在工廠中自動搬運、保管晶圓容器的整套系統。在 300 mm 工廠中，它由沿天花板軌道行駛並將 FOUP 放到設備裝載埠的 OHT、以機器人存取 FOUP 的自動倉庫（倉儲，stocker）、在軌道附近暫存 FOUP 的緩衝架，以及跨樓層搬運的升降機等構成。這些設備由搬運控制系統驅動，它接收製造執行系統（MES）的搬運指示，分配搬運車與保管位置。

跨區搬運與區內搬運

許多工廠採用將同類設備集中為區塊（bay）並排列的配置。在 bay 方式中，組合了經由倉儲等連接相距較遠之區塊的跨區（interbay）搬運，以及在區塊內連接設備之間或設備與倉儲的區內（intrabay）搬運。200 mm 工廠常常只有跨區搬運自動化，區塊內則由人工搬運。由於每次轉乘都會產生等待時間，近年的 300 mm 工廠也廣泛採用由 OHT 一併負責兩者、從設備直接運到設備的方式。

自動化的理由

裝有 25 片 300 mm 晶圓的 FOUP 重約 8 kg，由人整天搬運負擔很大，一旦掉落就會損失昂貴的晶圓。晶圓在完成前要經過數百道製程，每一道都要在設備之間移動，搬運次數非常多。自動化後可不分晝夜以穩定的速度搬運，隨時掌握每個 FOUP 的位置，也能防止送錯設備的失誤。人員進出減少，也能抑制發塵造成的污染。

左右效能的因素

大型工廠中有數百台以上的 OHT 在同一個軌道網路上行駛，因此壅塞與路徑選擇會大幅影響搬運時間。若設備因等待 FOUP 而停止，產能就會下降，晶圓在廠內停留的時間（週期時間）也會拉長。因此會預測搬運需求讓搬運車提前就位，或在設備附近設置保管架以減少等待時間。在工廠設計階段，會模擬搬運量來決定軌道配置、搬運車數量與保管容量。讓局部故障不致使整體停止的冗餘設計也很重要。

練習AMHS(自動化物料搬運系統)的題目

在300 mm晶圓的工廠中，沿著天花板軌道在設備之間自動搬運FOUP的系統是下列何者？

A以人力推車搬運
B僅靠輸送帶搬運
COHT（天車式無人搬運車）

查看答案與解析

正確答案：C. OHT（天車式無人搬運車）

裝有25片300 mm晶圓的FOUP重約8 kg，以人力搬運負擔大，也有發塵與掉落的風險。OHT是行駛在天花板軌道上的搬運車，會將FOUP吊起，自動運送到設備的裝載埠（load port），地板空間便可用於作業與設備。它是整座工廠自動搬運系統（AMHS）的核心設備，大型工廠中有數百台以上在運行。

常見問題

AMHS 是什麼的縮寫？

Automated Material Handling System（自動化物料搬運系統）的縮寫。在半導體工廠中，是搬運 FOUP 的 OHT、保管用的倉儲，以及驅動它們之控制系統的總稱。

AMHS 和 OHT 有什麼不同？

AMHS 是整套搬運與保管系統的名稱，OHT 則是其中實際搬運 FOUP 的天車式搬運車。AMHS 還包括倉儲、緩衝架與搬運控制軟體。

半導體工廠的倉儲（stocker）是什麼？

具備以機器人存取 FOUP 之貨架的自動倉庫，用來暫時保管等待設備空出的 FOUP 等。內部充滿潔淨空氣或氮氣，並與 OHT 等搬運系統相連。

解析中的「AMHS(自動化物料搬運系統)」

它是整座工廠自動搬運系統（AMHS）的核心設備，大型工廠中有數百台以上在運行。
在300 mm晶圓的工廠中，沿著天花板軌道在設備之間自動搬運FOUP的系統是下列何者？

出現「AMHS(自動化物料搬運系統)」的題目（1題）

在300 mm晶圓的工廠中，沿著天花板軌道在設備之間自動搬運FOUP的系統是下列何者？