在廠區－維護區（bay-chase）方式的潔淨室中，設備背面的維護空間（chase）其潔淨度的一般處理方式為何？

正確答案：C. 多半以低於處理晶圓的作業區（bay）的潔淨度管理

在廠區－維護區方式中，處理晶圓的作業區（bay）保持高潔淨度，設備背面的維護空間（chase）則多半以較低的潔淨度管理。將設備本體嵌入牆壁般放置，只讓操作面朝向廠區一側，就能避免維護作業產生的粒子進入廠區。劃分潔淨度，可以降低建造成本與運轉費用。