無塵室與製造設備

潔淨室中主要的發塵源之一,需靠穿著無塵衣來因應的是下列何者?

  1. A作業人員(人)
  2. B晶圓
  3. C天花板的濾網
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正確答案:A. 作業人員(人)

人會持續釋放皮膚碎屑、頭髮、衣服纖維等,光是走路,每分鐘就可能釋放數百萬個粒子,是主要的發塵源。因此作業人員要穿著包覆全身的無塵衣、口罩與手套,並經過風淋室後才能進入。透過自動化讓人遠離晶圓,也是減少發塵的重要手段。天花板的濾網是去除粒子的一方。

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