無塵室與製造設備
下列關於HEPA濾網性能的一般定義，何者正確？
- A捕集粒徑0.3 µm的粒子達99.97%以上
- B捕集粒徑10 µm的粒子達50%以上
- C去除氣態分子達99.99%以上
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正確答案：A. 捕集粒徑0.3 µm的粒子達99.97%以上
HEPA濾網的定義為：對接近最難過濾粒徑的0.3 µm左右的粒子，具有99.97%以上捕集效率的濾網（JIS等）。比這更大的粒子因慣性，更小的粒子則因布朗運動造成的擴散，容易被纖維捕捉，所以中間大小的粒子最容易穿透。性能更高的ULPA濾網，在0.15 µm時為99.9995%以上。兩者都無法去除氣體。
- A. 正確。以0.3 µm時99.97%以上為基準。
- B. 那是非常粗的濾網的性能。
- C. HEPA濾網是捕捉粒子的，無法去除氣體。