在使用真空的製程設備中，將反應生成的含有害物質的排氣逐台設備處理的裝置是下列何者？

正確答案：A. 除害裝置（局部洗滌塔，local scrubber）

成膜與蝕刻設備排出的氣體中，含有未反應的特殊材料氣體與有害的副產物。除害裝置在設備的緊鄰處，以燃燒、熱分解、電漿分解、吸附、水洗等方式將其無害化，再送往全廠的排氣系統。及早處理易燃氣體與在管線中凝固的生成物，還可防止風管起火與堵塞。FFU與EFEM則是淨化與搬運的設備。