無塵室與製造設備
在半導體工廠中，對供應高純度氣體的不鏽鋼管線內面施以電解研磨（EP）的主要理由為何？
- A為了讓管線變輕
- B為了使內面平滑，抑制粒子的產生，以及水分、雜質的吸附與釋放
- C為了替管線上色以分辨種類
查看答案與解析
正確答案：B. 為了使內面平滑，抑制粒子的產生，以及水分、雜質的吸附與釋放
管線內面若有凹凸，會產生粒子，或水分、雜質吸附後再慢慢釋放，使氣體的純度下降。電解研磨使內面如鏡面般平滑，並在表面形成富含鉻氧化物的穩定鈍化膜，也能抑制腐蝕，讓高純度氣體在不被污染的情況下送達設備。材料常使用低碳不鏽鋼SUS316L。目的並不是輕量化或識別。
- A. 目的不是輕量化。
- B. 正確。以平滑的內面抑制污染。
- C. 種類的識別是以標示或標籤進行。