無塵室與製造設備
用來從潔淨室空氣中去除氨或有機物等分子態污染（AMC）的濾網是下列何者？
- AULPA濾網
- B化學濾網（使用活性碳或離子交換體的濾網）
- C金屬網的預濾網
查看答案與解析
正確答案：B. 化學濾網（使用活性碳或離子交換體的濾網）
ULPA與HEPA濾網雖然能捕捉粒子，但氣態分子會穿過去。化學濾網使用活性碳、含浸了可與酸或鹼反應的藥劑的濾材、離子交換樹脂等，使分子被吸附、反應而去除。會依要去除的物質選擇種類，且因吸附量有限，需要定期更換。用於外氣的進氣口，以及曝光機等重要設備。
- A. ULPA濾網是捕捉粒子的，氣態分子會穿過去。
- B. 正確。以吸附或化學反應去除分子態污染。
- C. 預濾網是用來去除較大灰塵的。